XXY对位平台
别名:UVW对位平台、UVW对准平台、XY Theta平台、XYθ平台、CCD对位平台、CCD视觉对位平台
该平台属于吉嘉三轴平台系列,具有高分辨率,高重复定位精度,广泛应用于光学测量仪器,CCD视觉对位仪器,LCD面板检测,半导体处理,激光切割和钻孔,平板覆膜机,数控设备,研磨设备,晶圆对准设备,曝光设备,复合机等。
产品描述
XXY对准平台专为高精度对位设备而设计。它在XY平面中移动并围绕XY平面的中心旋转。XXY对位平台通常称作XYθ平台或UVW平台。
吉嘉提供11种型号的XXY对位平台,并提供三种精度可供用户选择,分别为H级2μm,S级5μm及N级10μm。全系列行程范围:±2.5~±5 mm。水平负载范围:20KG~100KG。
为了满足用户的不同设计需求,我们提供了空心和实心两种设计。由于采用三轴紧凑设计,大大降低了整体高度,使平台更轻,更薄,有效节省空间。

XXY 运动模式
*A、B、C 为旋转轴,D 为从动轴

XXY对位平台全系列型号
系列 | 尺寸 | 线性行程 (mm) | 旋转行程 ( ° ) | 荷重 (kg) | 精密等级 (可选) |
工作台尺寸(mm) | 高度 (mm) | 底座尺寸 (mm) |
XXY100-45-120-X | 100X100 | 45 | 120X120 | ±2.5 | ±8° | 10 | G:高精度 B:标准精度 P:普通精度 |
XXY160-50-170-X | 160×160 | 50 | 170x170 | ±5 | ±3° | 20 |
XXY160-55-220-X | 160×160 | 55 | 220x220 | ±5 | ±3° | 30 |
XXY160-65-180-X | 160×160 | 65 | 180x180 | ±4 | ±3° | 30 |
XXY250-62-310-X | 250x250的 | 62 | 310x310 | ±5 | ±3° | 50 |
XXY250-75-350-X | 250x250的 | 75 | 350x350 | ±5 | ±3° | 100 |
XXY350-105-450-X | 350x350 | 105 | 450x450 | ±5 | ±2.3° | 100 |
XXY450-105-550-X | 450x450 | 105 | 550x550 | ±5 | ±1.6° | 100 |
XXY550-105-650-X | 550x550 | 105 | 650x650 | ±5 | ±1.2° | 100 |
XXY650-105-750-X | 650x650 | 105 | 750x750 | ±5 | ±1° | 100 |
订货代码范例 1:XXY160-55-170-H 订货代码范例 2:XXY550-105-650-N
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XXY对位平台的应用场合
XXY对位平台广泛应用于光学测量仪器,LCD面板检测,半导体处理,激光切割和钻孔,平板覆膜机,数控设备,研磨设备,晶圆对准设备,曝光设备,复合机等。

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电子检测设备 | 多轴数控设备 |
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复合机 | 机械手 |
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激光加工装置 | 抛光机 |
XXY对位平台的安装方法及注意事项

